TFT-LCD，即薄膜晶体管（Thin Film Transistor,TFT）。TFT-LCD 的制造生产工艺工序繁多，包括检查和测试在内可达到100 多道工序，生产过程中使用多种化学有机溶剂和特殊气体，会产生大量的有机废气（VOCs ），组分复杂。如果不经尾气处理设备直接排空，将对环境造成污染。

TFT-LCD有机废气来源：

TFT 液晶面板生产排放VOCs 污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻（涂胶、曝光和显影），以及彩膜工程中的黑色矩阵BM 膜制造、彩色矩阵膜形成（红、绿、蓝，RGB）、保护膜生成、MVA 膜、PS（PHoto Spacer）膜生成是产生VOCs 的主要工艺。

同时，在成盒工程中清洗工序使用的有机溶剂挥发也会产生少量的VOCs。TFT-LCD 的制造过程中产生的VOCs 主要是以异丙醇为主，其次依序是丙酮、单甲基醚丙二醇、单甲基醚丙二醇乙酸酯，这四种成分占了全部VOCs量的90%以上。

尾气处理设备：

尾气处理设备，主要是指运用不同工艺技术，通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分，达到保护环境、净化空气及保护周边人员身体健康的一种环保设备。

目前，针对TFT-LCD有机废气的尾气处理，一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。有机溶剂废气先由吸附式尾气处理设备（Local Scrubber）进行吸附处理，再进入中央处理系统（central scrubber）进行二次处理后排入大气。

吸附式尾气处理设备（Local Scrubber）是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上，达到分离的目的。其中吸附剂选择性高，能分开其他过程难以分开的混合物，有效地清除（或回收）浓度很低的有害物质，净化效率高，设备简单，操作方便，且能实现自动控制。

以上，就是关于TFT-LCD制造生产工艺中有机溶剂（VOCs）尾气的来源种类和尾气处理设备的简单介绍，感谢您的阅读！