硅烷（SiH4）是一种在常温常压下具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆炸性燃烧的剧毒性特种气体。

硅烷在高科技行业中应用越来越广泛，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。

1、硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。

举例：半导体行业中，硅烷SiH4是显示屏制造中最关键的气体之一，与氨气（NH3）结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氧化亚氮（N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。

2、硅烷（SiH4）的利用可以实现高纯度、超精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料制成复杂精细的结构， 满足各种需要，这也正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。

硅烷既然这么有用，那肯定不能因为它是危险性气体就不用啊，但同样安全第一，那该怎么办呢？特气系统和特气设备！他们的出现便是为了解决这种问题而专门设计出来的。

• 硅烷特气柜设计要求

1、因为硅烷（SiH4）的危险性，所以整套系统应该配备惰性吹扫装置，而且应该设置独立的惰性气体钢瓶（比如高压N2）进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。

2、硅烷（SiH4）与空气会自燃，柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等，当发生泄漏时，能及时报警处理，避免更大事故的发生。

3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统，硅烷和硅烷混合物排气系统应该独立于其它气体排气系统。

4、如果排气的硅烷（SiH4）浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。

5、由于存在通过系统的固定惯性气流，要设有防止回流装置。

6、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。

• 硅烷管道要求

1.硅烷特气管道安装一般首选管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为最大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到最大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。

2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。

3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。

4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。

以上，便是硅烷特气系统中硅烷（SiH4）的作用、特气柜的设计和气体管道要求，因为硅烷的危险特性，要选好特气设备（特气柜）和做好气体管道安装，这样无论你是否使用，你都是可以放心和安全的。感谢您的阅读！