高纯气体管道安装有哪些设计要点?

2020-10-21 10:31:02   责任编辑: 高纯气体系统设计公司     0

想要有一个优质的高纯气体管道系统,就要在高纯气体管道安装上下功夫。管道安装除了配管和附件材质的选择以外,最要做好的就是气体管道整体规划设计了。


所谓,磨刀不误砍柴工,优秀且全面的高纯气体管道安装设计能避免施工中很多问题。下面就让有多年从事气体管道安装经验的5848vip威尼斯电子游戏来分享一下管道安装的设计要点吧!


从气体性质和纯度考虑:

1)  对于不同特性的气体,应规划独立的供应区域。一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2)  对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

3)  根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4)  管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。


从气体检测方面考虑:

1)  为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

2)  在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。


从经济性方面考虑:

管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。



以上,便是威尼斯分享的一些管道安装的设计经验,高纯气体管道安装前的整体规划设计影响着整个工程的质量和效率,将问题消灭于萌芽之中。感谢您的阅读,更多气体应用资讯,请关注我们!

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