电子特种气体管道系统的配置规范及要求

电子特种气体管道系统非常讲究安全，对设备配置有很多规范，在操作设计上也有很多的要求，这里主要介绍下电子特种气体管道系统的配置规范及要求。

特种气体输送系统概述

在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中，气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶气体的标配，那么这些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多业主和用户并没有一个清晰的概念，只有了解了规范化的要求，才能在厂房、实验室的建设中合理规划布局、安全使用。

特种气体输送系统设备配置规范

1、GC、GR可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构配置。

2、GC、GR 应设置作业用气体面板。

3、系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实。

4、气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/H 。

5、GC板材厚度不得低于2.5mm，并有放腐蚀涂层。

6、GC门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗，地脚螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。


特气系统安全要求

1、不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。

2、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄露侦测器。

3、GC、GR应设置清晰明确的安全标识牌

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