Gas Scrubber，特气柜，使用Arsine（AsH3）气体进行LPCVD工艺的处理信息

问：我们需要为新的掺杂工艺添加一个LPCVD工具，我们需要将其接入产线。该过程要求使用砷化氢（AsH3），我们对此没有很多经验，但是我们知道这气体是剧毒的。我们需要在Fab中添加一个特气柜和一个尾气处理设备来处理这种气体。您对特气柜和尾气处理设备有什么建议？我需要做一个特别的气瓶房来存放这些气瓶吗？由于其毒性，我是否需要双套管气体管道？感谢您的帮助。

答：谢谢你的提问。是的，砷化氢（AsH3）是用于二氧化硅加工工艺的特别危险的气体。它被归类为高毒，易燃气体，因此您需要适当的气瓶间来存放它。此外，由于它是氢化物气体，因此对对空气的湿度也有要求。我们强烈建议您使用全自动特气柜，以确保您更换瓶子既安全又有效，可以防止面板上的水分进入。您还需要净化气体净化器，以清除净化气体供应中可能存在的任何水分。最后建议管道安装时使用双套管管道安装。

关于Gas Scrubber气体废气处理设备，AsH3通常以小流量运行，并且吸附式的尾气处理设备可以成功消除AsH3气体，因此建议使用干式吸附式尾气处理系统。